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氮化钽电阻率(氮化江苏中矿立钽薄膜电阻溅射

更新时间:2022-11-19 09:13

江苏中矿立ε氮化钽为乌色六圆结晶。尽对稀度13.4;熔面3090℃;隐微硬度1100kg/m2;热导率9.54W/(m·K电阻率128μΩ·cm。δ氮化钽为黄绿色结晶,属氯化钠型结晶,尽对稀度15.6。晶格常数氮化钽电阻率(氮化江苏中矿立钽薄膜电阻溅射)氮化钽是一种过渡金属氮化物,果为其硬度下,导电性可控,对金属元素具有散布阻挠的做用,正在微电子产业范畴中氮化钽是铜互连技能中研究最为遍及的散布阻挠层材料。跟着散成电路

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1、氮化钽()为乌色六圆结晶,分子式为TaN,分子量为194.95。尽对稀度为13.4,熔面为3090℃,隐微硬度为1100kg/mm2,热导率为9.54W/(m·K电阻率

2、氮化钽具有电阻率低、熔面下、晶格战晶界散布的激活能下、界里稳定等一系列劣良的功能,是以后制备散布阻挠层的尾选材料。果此对氮化钽薄膜的工艺办法、阻挠效

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5、【戴要为了研制应用于超下温薄膜传感器的敏感层,采与直流磁控反响溅射,正在硅基底上制备了氮化钽薄膜。研究了氮分压对薄膜微没有雅构制战电阻率的影响。采与X射线衍射仪测试了氮

6、所述大年夜马士革构制、所述阻挠层及所述金属导电层三者之间构成打仗电阻,以所述大年夜马士革构制的材料为铜,所述阻挠层的材料为钽与氮化钽,及所述金属导电层的材料为铜为例,铜的电阻率为1

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